本成果的鉴别高速生长的化学气相沉积金刚石单晶的方法属金刚石材料
技术领域。通过以甲烷、氢气、氮气为反应气体获得的CVD金刚石单晶的
生长表面及沿生长方向侧面不同位置的光致荧光光谱的测试，光谱强度规律
变化的金刚石单晶是掺氮高速化学气相沉积金刚石单晶。进而根据和氮含量
相关的光致荧光峰的强度的规律变化，区分CVD金刚石单晶和其他金刚石
单晶。本成果的方法简单、适用、快速，不对所生长的CVD单晶金刚石造
成破坏。
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